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带可拆卸真空扫描电镜室单元和使用其的扫描方法

KR1020130143200 2013-11-22 发明授权

2014-5-8

特别是本发明涉及电子显微镜涉及一种可拆卸的水容器，和浮子连接到真空室下测试的标本，即使对于大尺寸通过根据移动体从发射孔和止回增强方便附着脱水的晶片和真空室单元的操作进行控制的电子显微镜和使用其测试方法如下式1。