| 干涉原子力显微镜装置和方法 |
| US13829626 2013-3-14 发明申请 |
| 2014-5-8 |
| 本发明公开了一种具有衍射光栅的高带宽AFM探针，该衍射光栅的特征在于沿着衍射光栅的长度单调变化的衍射特性。 根据本发明的AFM探针能够在宽范围的操作条件下具有高灵敏度性能，例如操作波长和测量介质。 还公开了一种用于基于来自高带宽AFM探针的输出信号中的高频信号分量来估计表面的至少一个物理性质的方法。 该方法能够基于AFM探针的基部的第一运动和AFM探针的尖端的第二运动之间的关系来确定尖端-表面相互作用力。 |
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