单片干涉原子力显微镜装置
 
US13833498  2013-3-15  发明申请

2014-5-8
 
  介绍了一种能够实现高分辨率、高灵敏度样品表面测量的光纤AFM探针。 根据本发明的AFM探针包括由两个反射镜限定的光学谐振腔,其中至少一个反射镜是光子晶体反射镜。 其中一个反射镜是可移动的,并且与AFM针尖机械耦合,使得通过与样品表面的相互作用施加在针尖上的力引起光学谐振腔的腔长的变化,并因此引起其反射率的变化。
 
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