| 电子束显微镜装置 |
| WOJP13078807 2013-10-24 发明申请 |
| 2014-5-8 |
| 该电子束显微镜装置被提供有 : 一真空-exhaustible镜体，一电子枪，用于产生一个电子用于聚焦该电子束束，一电磁透镜，一个用于安装一第一样品第一样品架，一第一其具有一个第一级中的气闸机构第一可以被引入样品架内的所述反射镜体而不释放该空气从所述反射镜体，和一个检测器用于检测一信号始发作为所述结果的所述所述电子束的相互动作和第一样品。所述反射镜体是具有一个开口部分提供所述相同的平面中具有一大致第二的气闸机构作为第一样品第一样品架中安装; 第二的气闸机构被配置成使得一个规定的内部部件可以被引入所述反射镜体而不释放该空气从所述反射镜体。 |
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