| 使用具有多电子束配置的扫描电子显微镜检查缺陷的方法和设备 |
| US13549847 2012-7-16 发明授权 |
| 2014-5-6 |
| 一个实施例涉及使用扫描电子显微镜(SEM)检查缺陷的方法。 选择具有用于检查的缺陷的缺陷位置，并且SEM被配置为处于第一成像配置。 使用SEM对所选缺陷位置成像，以生成所选缺陷位置的第一SEM图像。 确定缺陷在第一SEM图像中是可见的还是不可见的。 如果缺陷在第一SEM图像中是不可见的，则SEM被配置为进入第二成像配置，使用SEM对所选缺陷位置成像以生成所选缺陷位置的第二SEM图像，并且进一步确定缺陷在第二SEM图像中是可见的还是不可见的。 还公开了其它实施例、方面和特征。 |
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