| 扫描电子显微镜电子束状态监测方法及装置 |
| US13756148 2013-1-31 发明申请 |
| 2014-5-1 |
| 提供了一种用于监测SEM的电子束状态的方法和设备。 SEM包括电子枪和电磁透镜系统。 所述方法包括 : 获取输入电子束的质量参数，其中所述输入电子束由所述电子枪提供给所述电磁透镜系统；获取所述电磁透镜系统的当前一组操作参数；基于所述输入电子束的质量参数和所述当前一组操作参数中的一个或多个操作参数，计算所述电磁透镜系统的输出电子束的质量参数；以及基于所述输出电子束的质量参数，确定是否需要校准所述SEM。 |
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