显微镜与至少一个照明光束在所形成的一个光片
 
WOEP13002647  2013-9-4  发明申请

2014-5-1
 
  本发明涉及一种显微镜与至少一个照明透镜(10)用于引导在至少一个照明光束(33)中所形成的一种用于照明光片检查下至少一个样品(1),和与至少一个检测物镜(20)用于捕获至少一个检测光束(35)下从所述样品发出检查(1)(光片显微镜)。根据本发明,所述的光学轴(11)的所述至少一个照明透镜(10)采用一个角度α,它是不相等,以90A°,相对于所述的光学轴(21)的所述至少一个检测物镜(20)和所述至少一个照明光束(33)是优选的是入射在所述在至少一个照明透镜(10)所述的光学轴(11)及其下的外侧的入射角度β,使得所述光片位于所述的聚焦平面内的所述至少一个检测物镜(20)。该装置的所述在至少一个照明透镜(10)在右角以所述至少一个检测物镜(20),其具有被通常从而远,其布置是伴随通过空间限制,是克服通过该光片的显微镜装置根据本发明,这开辟了新的可能性关系中用于该目的所述的装置到所述捕获技术和还用于检查下将该样品在样品台和移动该样品在一起与该表。
 
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