| 扫描机构和扫描探针显微镜 |
| WOJP13070104 2013-7-24 发明申请 |
| 2014-2-13 |
| 一扫描机构(10)具有 : 一固定框架(11)，XY平台(19)，其被设置在所述固定框架(11)，和压电元件(12a，12b，12c)即被该XY之间设置级(19)和所述固定框架(11)。该XY载物台(19)具有一个XY可动部分(14)，其可以在所述X轴移动方向和Y轴方向上，所述压电元件(12a，12b，12c)构成一个XY致动器在所述X轴方向和Y轴方向，其中该XY可动部分(14)中被扫描，和该XY致动器被与相对于直线对称的，其经过该重力中心的该XY可动部分(14)，和其是平行于Y轴方向，和该XY相对于一个直线致动器是不对称的; 其经过该重力中心的该XY可动部分(14)，和其平行于所述X轴方向。 |
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