| 扫描电子式显微镜的图像处理装置和扫描方法。 |
| WOJP13054187 2013-2-20 发明申请 |
| 2013-9-12 |
| 一种图像处理装置(1)具有如下 : 一种装置，其分区的一拍摄的图像为多个的扫描区域，和用于每个扫描区域，确定一扫描方向及其在所述图案的边缘在其基础所拍摄的图像的扫描区域; 一种装置，用于每个扫描区域，确定一扫描顺序在其上进行光栅扫描所述像素构成所述扫描区，使得所述水平方向的所述光栅扫描是所述扫描方向确定用于所述扫描区域; 和一种装置，用于每个扫描区域，通过使用扫描电子显微镜获取的扫描图像，以根据所确定的所述扫描区域的图像扫描顺序。 |
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