| 电子显微镜系统和方法用于评价抗蚀剂图案的膜厚度减小 |
| JP2012261855 2012-11-30 发明申请 |
| 2013-2-28 |
| 要解决的问题 : 以提供一种用于实现检测和测量系统的抗蚀剂膜的厚度降低图案与高吞吐量，其可以被施加到部分-线过程中的管理。溶液 : 所述的电子显微镜系统包括 : 电子束图像获取装置，用于获取图像的一个样品具有一其一个表面上形成抗蚀剂图案使用一种扫描电子显微镜; 量化装置，用于量化一个在所述图像的亮度变化的特征在所希望的区域的所述抗蚀剂图案通过处理所获得的图像; 用于计算一索引指标值计算装置用于将所述特征的值在所述的亮度变化通过所述量化装置量化的图像与一个减少的量的一种膜的厚度从一参考值所述抗蚀剂图案; 和显示装置，用于显示该索引的值计算由该索引信息值计算装置上的一个屏幕。版权 : (C)2013，inpit |
微信公众号