| 样品分析仪 |
| JP2005063000 2005-3-7 发明申请 |
| 2006-9-14 |
| 要解决的问题 : 以提供一样品分析仪能够准确地制备一个表面的图像，基于一种电子从样品发出的光束，通过防止生成的热或充电现象由于该照射所述的电子光束用于长周期在一指定的待分析的分析，其是所述对象的位置。溶液 : 该样本分析仪包括一个所述电子束的电子束辐射装置辐射到所述规定区域的所述样品，第一分析部分检测第一能量射线，产生从所述与所述电子束照射样品和进行该分析的所述样品，和第二用于检测一第二产生的能量射线分析部从所述与电子束照射样品和进行该分析的样品。仅当所述电子束被发射到一个规定的位置，其中一个用于检测检测部第二所述的规定区域内的能量射线涉及的是所述样品，第二分析部分检测第二能量射线从所述试样产生的。此外，第二分析部分累加这些检测值，和通过使用这些累加值，执行所述的分析该样品。版权 : (C)2006，膜℃。 |
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