| 轨道位置检测装置，组合物分析仪，用于带电粒子束轨道调整方法和位置坐标检测装置 |
| JP2005045275 2005-2-22 发明申请 |
| 2006-9-7 |
| 要解决的问题 : 以提供一个轨道位置检测装置能够通过简化提高调整精度的调整工作用于电子束轨道和容易地检测一个电子束的移位操作中的一种装置，以提供一种组合物分析仪提供与该用于带电粒子光束和一个轨道的调整方法，和以提供一位置。坐标检测装置能够容易地检测一个坐标的位置的一束电流测量装置，诸如法拉第杯使用用于所述轨道位置检测装置。溶液 : 该束电流测量装置例如一个分段电极10或该法拉第杯20等测量一个束电流的一离子束L从一加速器发射的Y1是提供一种测量室中的73a一个样品分析仪。一种基于被检测离子束L所述的轨道位置在所述光束的观察值的电流通过该束电流测量装置。版权 : (C)2006，膜℃。 |
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