扫描探针显微镜悬臂包括一电磁传感器
 
GB1207732  2012-5-3  发明申请

2013-2-13
 
  本发明是值得注意的是涉及一种扫描探针显微镜悬臂(10),包括一本体(15)和一电磁传感器(20)具有一个可检测的电磁特性变化在所述体的变形。它还涉及一种扫描探针显微镜,一个检测装置和一检测方法使用依赖于这样的一个悬臂。该传感器可以包括一个光波导和可以包括一个封闭环的环谐振器或跑道形谐振器。该传感器5月20日被一个马赫曾德干涉仪。
 
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