| 扫描电子显微镜和控制方法，其 |
| JP2010249505 2010-11-8 发明申请 |
| 2012-5-31 |
| 要解决的问题 : 以提供一种扫描电子显微镜可设置一AP的用于提高匹配精度。溶液 : 所述EP被设计成获得扫描电子显微镜图像基于在摄影配方包括信息在一个AP，其被设置在该周边的一用于定位目的，所述EP在一个样品之前EP被观察到。该扫描电子显微镜包括 : 一个信息获取单元获取该AP信息包括所述的位置和该样品的所述设计数据; 一图形分析单元，其中，基于该信息，确定是否该图案包括在所述的FOVAP是一个封闭的图或没有; 一位置调整单元，其中，当所述图案包括在所述AP的FOV是一个闭合图和一个矩形区域包围所述闭合图是包含在所述AP的FOV，移动所述AP，直到所述闭合图具有一顶点的最大数目是所述AP的中心处，或，当该矩形区域包围所述闭合图中是不包括所述的FOV所述AP，移动所述AP到一个位置在其中有一最大数量的顶点在所述封闭的示意图; 和一个摄影配方注册单元，其中一个摄影配方中所述优化的AP位置寄存器。版权 : (C)2012，inpit |
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