| 透射电镜装置具有电子分光镜,样品架,和获取样品台的方法和光谱图像 |
| JP2012010590 2012-1-23 发明申请 |
| 2012-5-31 |
| 要解决的问题 : 以提供一传输电子的显微镜装置能够获取光谱图像的同时从一个多个采样和测量的一个高度精确的化学位移形成一个电子能量损失谱从所提取的光谱图像,一个样品架,一个样品台,和一个获取光谱图像的方法。溶液 : 该传输电子显微镜装置1包括一个用于发射电子束的电子枪3,一个转换透镜4用于会聚所发射的电子束,多个样品的级到其所会聚的电子束被发射的和其上的样品18,19被设置,一个样品运动控制装置用于移动所述样品级,一个成像透镜7,用于成像的电子束传输通过多个所述的样品,一种电子分光镜8,用于获取所述同时从多个所述样本的光谱图像通过频谱所述的电子束衍射由所述能量的量所述成像的电子束,以输出所述光谱图像在其上的会聚位置能量色散轴从其制成不同的是在一个方向垂直于所述能量色散轴,和一种图像显示装置14用于显示所获取光谱图像。版权 : (C)2012,inpit |