| 用于带电粒子光束准直仪 |
| JP2004324028 2004-11-8 发明申请 |
| 2006-5-25 |
| 要解决的问题 : 以提供一种用于带电粒子光束准直仪，其可以被设置，即使在一小设置空间和紧凑地构成一个样品分析仪或离子\/电子照射设备本身。溶液 : 该准直仪包括一个外壳1具有一个通孔之间的连接管道用于引导光束，狭缝板3提供相对所述壳体的所述通孔1内，以形成一束通过孔，平移驱动设备2提供出相对的所述外壳和驱动所述的狭缝板3a和3b的前向和后向以改变所述的尺寸该光束通过的孔，和一个联锁机构4连接到所述对置的狭缝板3a和3b以及驱动所述对置的狭缝板3a和3b向内和在所述相同的方向向外。版权 : (C)2006，膜℃。 |
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