| 调平装置和包括该原子力显微镜 |
| KR1020130036524 2013-4-3 发明授权 |
| 2014-4-22 |
| 本发明涉及调平对象力施加到衬底表面的直接测量水平与安平水准仪环装置，涉及原子力显微镜包括。本发明的一个实施方案 : 调平装置A，对象一侧的基板(基板)平行于表面的装置作为(平)整平以进行接触，4A对象的所述至少3点应用于设置成测量力的力传感器，用户的用户所选择的素材之间的衬底和所述表面的所述相对调整位置和设置以可角度调整; 所述力传感器和所述角度调节区段相连接，所述力传感器基于从数据获得控制单元驱动调节所述角; 包括，所述控制单元，所述物体侧以一角度的预定所述接触在基板的表面上的力传感器所施加的力，分别，和测量数据，处理数据，，力数据从所述表面获得所述物体的所述倾斜的程度计算，所述角度调节所述物体或所述基板通过调节角度的所述物体的所述上其特征在于基板的表面的水平。 |
微信公众号