| 激光扫描显微镜 |
| JP2012220056 2012-10-2 发明申请 |
| 2014-4-21 |
| 要解决的问题 : 所述表面中的一个高分辨率，一个外表面在所述高度或折射率，以该分布的高分辨率，一个宽测量范围和一个简单的激光扫描显微镜测量或观察。溶液 : 2由相互不同波长的激光的光被发射的组合光学系统1，2每个激光的光声光元件3是分别的频率调制的光，在不同方向发出的。2一2维扫描装置6被扫描尺寸，这通过光束分离器7分离的部分，一光电转换元件81，83的节拍信号被发送的。合成光学系统1从该光传输pupile透镜系统5，10，同时在接近; 所述物镜透镜17是由所述对象发出的S，S，以从所述物体所反射的光接收元件91，93所述光电转换的所述差拍信号被发送的。从所述接收元件81，83，91，93所获得的差拍信号的基于一由所述比较器15检测的相位差，所述对象的信息S数据处理部16。选择绘制 : 图1 |
微信公众号