显微镜和过程用于所述垃圾显微术
 
DE102012020240  2012-10-12  发明申请

2014-4-17
 
  方法和用于垃圾显微镜的显微镜,其中,一第一步骤中,所述的基础上执行一个校准是一种待检查的样品,其中,所述试样的各种平面中,所述光片的实际位置被依赖于所述样品中所述位置中的记录和存储,以及,一第二步骤中,当观看和\/或检测该样品,所述存储位置的所述光片是用于校正所述光片的该位置在相对于所述所检测的基础上的物镜焦平面第一中所存储的值的步骤; 和\/或,所述样品的所述移位期间,一个调整所述光片的所述的位置关系中,以所述所述检测物镜的焦平面是这样的一种方式中执行使所述光片进行相对移动在关系到所述样品中的至少一个方向和\/或该检测中的物镜进行相对移动关系以该样品。
 
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