| 一种抑制扫描探针显微镜扫描大图时温漂影响的方法 |
| CN201310742930.X 2013-12-30 发明申请 |
| 2014-4-16 |
| 本发明公开了一种抑制扫描探针显微镜扫描大图时温漂影响的方法，将欲扫描图像区域划分为N*N个正方形小图像块，每个小图像块与相邻图像块有部分重叠。采用Z字形依次扫描小图像块。每扫出一幅小图像块，将其与上一幅图像的设定重叠区域切割提取出来，用相位相关法计算其温漂。将扫描出的多幅小图像块根据其设定的起始扫描位置及其实际温漂量拼接起来。第一幅图像先放置，后面图像块依次放置，放置坐标为设定扫描起始坐标加上前面各图像块温漂之和。本发明的方法可以有效估计并补偿在没有严格温湿度控制的环境下，扫描探针显微镜扫描高精度大图耗时较长所引起的图像内漂移严重的问题。 |
微信公众号