| 分析条件片,分析条件记录介质和样品分析仪 |
| JP2004143272 2004-5-13 发明申请 |
| 2005-11-24 |
| 要解决的问题 : 提供一种分析条件片和一个分析条件的记录介质两者,其被,以便有效地设置一个分析中使用的条件,和一个样品分析仪能够有效地设定所述分析的条件。溶液 : 该分析条件片100待分析的对象是一个显示元件,其在所述的分析一个样品使用一个电子探针和所述电子束照射的电流值的组合,其被所述的最佳条件,在该时间分析所述元件和一加速电压的值。该分析条件记录介质被用于记录所述元件,其是一种待分析的对象在所分析的样品使用一个电子探针和所述电子照射的电流值的组合光束,其在所述的时间是所述最佳条件分析所述元件和一加速电压的值。该样品分析仪存储所述元件,它是一个对象,以该分析中被分析的样品使用一个电子探针和所述电子束照射的电流值的组合,其是所述最佳条件在所分析的所述元件和一加速电压的时间值。版权 : (C)2006,膜℃。 |