| 透射电镜用原位双轴倾转纳米压痕仪 |
| CN201320574347.8 2013-9-17 实用新型 |
| 2014-4-9 |
| 透射电镜用原位双轴倾转纳米压痕仪属于纳米材料原位测试领域。热双金属片一端固定在金属环的上面，另一端为自由端；在自由端且热膨胀系数低的一侧固定一个悬臂梁针尖，悬臂梁针尖上的针尖背对着热双金属片放置，样品固定在样品支撑台的一端上，样品支撑台的另一端固定在金属环上且要让样品正对悬臂梁针尖放置，且样品与针尖缝隙在2‐50微米之间；热双金属片和悬臂梁针尖、样品和样品支撑台分别用导电材料固定在一起，热双金属片、样品支撑台分别与金属环绝缘固定，在热双金属片、样品支撑台上分别焊接电极，电极与外部测试电路连接。本实用新型同时保持着X、Y轴两个自由度，在压缩的同时对纳米材料的结构进行实时原位原子尺度的观测。 |
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