| 样品的样品分析仪和控制方法分析仪 |
| JP2004109565 2004-4-2 发明申请 |
| 2005-10-20 |
| 要解决的问题 : 以设置一个用于分析在一种状态，其倾斜角度的分析对象的平面一个样品始终面对检测器。溶液 : 在所述样品分析仪，其是提供与一个电子束源1; 一个样品台13，它可以在Y方向的倾斜由所述在所述X-Y方向运动，运动在Z方向，所述X-y平面中旋转，与X方向和所述倾斜为一旋转轴线; 一个电子光学系统12; 和所述检测器8，其被设置在该位置，其中一个规定的角度是由从Y方向在所述水平平面和检测信息从所述所述样品的分析对象面6a6; 和其样品中分析被制成使得该分析该样品6的对象面6a将具有一规定用于该分析靠在所述水平平面的倾斜角度，使得该平面面对所述检测器8。当设定所述用于所述分析对象的倾斜角度的平面6a该样品6通过倾斜该样品级13，该倾斜角度用于该分析是通过所述移动校正和Y方向中旋转，Z方向; 和在旋转方向，和所述样品级13的旋转。版权 : (C)2006，膜℃。 |
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