透射电子显微镜多极探测器的使用方法
 
US12564617  2009-9-22  发明授权

2014-4-8
 
  本发明涉及一种用于校正由TEM的投影系统(106)引入的失真的方法。 如本领域技术人员所公知的,失真可能限制TEM的分辨率,尤其是当使用断层摄影进行特征的3D重建时。 为此,本发明公开了一种配备有多极(152)的检测器,所述多极以抵消由投影系统引入的失真的方式扭曲TEM的图像。 检测器还可以包括CCD或荧光屏(151),用于检测电子。
 
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