| 高度调节式扫描电镜样品座 |
| CN201310727245.X 2013-12-25 发明申请 |
| 2014-4-2 |
| 本发明涉及高度调节式扫描电镜样品座，包含用于放置样品及调整样品位置的旋转基座、固定于样品台上的套筒和弹簧，旋转基座的下底面凸设有中心轴，中心轴上套置有弹簧，中心轴的下端通过螺纹与套筒相旋接，弹簧的上端与旋转基座的下底面相抵接，弹簧的下端与套筒的上顶面相抵接。可以同时对不同高度的样品进行测试，在测试前可以灵活的对样品位置进行调整，使样品待检测面接近同一高度，提高了样品的检测质量和效率。 |
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