| 原子力显微镜薄膜探针针尖的制作方法 |
| US13759465 2013-2-5 发明授权 |
| 2014-4-1 |
| 通过在晶片衬底上沉积薄膜并蚀刻衬底以留下手柄、悬臂和悬臂中的探针尖端形式的薄膜，可以提供用于原子力显微镜的探针。 在一些实施例中，可通过在第一晶片上形成探针铸模、将第二晶片接合到第一晶片上、以及图案化第二晶片以在第一晶片上限定用于探针的基板来实现用于探针的薄膜基板。在一些实施例中，可通过在第一晶片上形成探针铸模、将第二晶片接合到第一晶片上以及图案化第二晶片以在第一晶片上限定用于探针的基板来实现探针的薄膜基板。 薄膜可以沉积在第一晶片的暴露部分上。 此后，可移除第一晶片和第二晶片的部分以留下探针。 |
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