| 扫描探针显微镜，组合与物体的表面的装置修改 |
| RU2012102492 2012-1-26 发明申请 |
| 2014-3-27 |
| 1。扫描探针显微镜，组合与样品表面的修改的装置(40)，含有 : -基(1)，在其是 : -puncheon(2)与第一驱动(4)，用于至少用于修改样品的表面(40); imekhanizm(6)样品(40)与第二的位移驱动器(7)，-扫描装置(33)，ustanovlenoe机构(6)上位移样品的(40)，-样品(40)，固定在扫描装置(33)，-第一的夹具(27)与探头(28); 适合用于探测的样品(6)，iblok控制(107)，适合于用于控制至少扫描装置(33)和探针(28)，其特征在于，所述事实，它具有平台(18)与第一和第二的导向件(22)，(23); 在其被安装一可动滑架(26)，所述，上平台(18)是固定机构(6)样品的位移(40)，项，第一的夹具(27)与探头(28)被安装在活动支架(26)。2。扫描探针显微镜由No.5，1，其特征在于，所述事实，它具有第三驱动(31)，共轭与可动滑架(26)和; 使所述控制单元(107)是适合用于控制第三驱动(31)。3。扫描探针显微镜通过No.5，2，其特征在于通过，使第三驱动(31)被安装在平台(18)。4。扫描探针显微镜通过No.5，2，其特征在于，通过; 使第三驱动(31)被安装在底座(1)。5。扫描探针显微镜通过No.5，1，其特征在于，使第一驱动(4)与可动滑架(26)相配合，和，使所述的控制单元(107)是适合用于控制第一驱动(4)。6。根据任何一个的扫描探针显微镜所述第1-5页，其特征在于，所述事实，即它具有第一 |
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