| 图案化基板3D显微镜和测量的方法 |
| WOUS11044045 2011-7-14 检索报告 |
| 2014-3-27 |
| 三-维(3D)用于图案化的衬底测量显微镜可以包括一个物镜，一反射的照明装置，一发送照明装置; 一个聚焦调节装置，一个光学传感器，和一个处理器。所述聚焦调节装置可以自动调整所述物镜聚焦在多个z的步骤。所述光学传感器可以被能够获取的图像的每个处的这些Z步骤。所述处理器能够控制所述反射的照明装置，所发送的照明装置，所述聚焦调节装置，和所述光学传感器。该处理器可以被配置成捕获第一和第二的图像在多个z步骤，第一的图像与所述使用所反射的照明装置和第二的图像图案不使用一个的所述图案所反射的照明装置和所述发送的照明装置。 |
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