| 扫描探针显微镜和用于观察样品使用相同的方法 |
| WOJP13065316 2013-6-3 发明申请 |
| 2014-3-27 |
| 本发明的目的是以增加所述检测光之间产生近场光的量测量探针和一通过增加所要检查的样品的Na检测光学系统在一个扫描近场光学显微镜，和提高所述的SN比和测量一种近场光图像的再现性。本发本发明提供了一种扫描探针显微镜具有 : 一种用于扫描一待检查的样品测量探针，一激光照射系统，用于与激光光照射所述测量探针附近，一个样品架，用于发送散射的光场所述测量探针和样品之间产生的光通过所述照射到被检查与所述激光光线穿过和保持所述待检查的样品，和一个用于检测所述发送通过所述样品散射的光检测器夹持器。 |
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