| Mirau型物镜及使用该物镜的Mirau白光干涉显微镜和测量系统 |
| CN201310426690.2 2013-9-18 发明申请 |
| 2014-3-26 |
| 一种Mirau型物镜及使用该物镜的Mirau白光干涉显微镜和测量系统，使用Mirau型物镜的白光干涉显微镜是一台光路不失调能长期稳定工作的干涉显微镜，并且实现数字化自动控制，实现了10x、20x以至50x等一系列放大倍率的Mirau型物镜加工和装配工艺技术。本发明对第一干涉板上反射圆斑的位置、第一和第二干涉板厚度、第一和第二干涉板的位置及它们上表面的平行性作了限定，对第一和第二干涉板的沿光轴的距离也作了限定，使得本系统能准确快速调试出能提供质量优良干涉图的Mirau型物镜和以它为基础的Mirau白光干涉显微镜。从调试出干涉图的快速性，干涉图的色彩鲜明性和干涉图的对比度，不亚于国外同类仪器。 |
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