| 扫描电子显微镜 |
| EP13185379 2013-9-20 发明申请 |
| 2014-3-26 |
| 一种扫描电子显微镜是提供可以开关所述孔通过其电子束通过多个孔之间的通过电磁偏转和，在所述相同的时间，控制所述所述光束的角孔径，该显微镜具有一个第一聚光透镜(121)具有一透镜间隙(121a)朝向一个电子源(50)和第二聚光透镜(122)。具有一透镜间隙(122a)面对一物镜透镜(13)。第一和第二聚光透镜被设置该电子源(50)和所述物镜之间的透镜(13)。第一偏转装置(133)被设置在一束通道开口第一中形成的聚光透镜(121)。第二偏转装置(136)是一光束通道中设置开口第二中形成的聚光透镜(122)。一种孔板(113)具有多个孔的(113a)的不同的直径是第一偏转装置(133)和第二之间安装偏转装置(136)。一种电子检测器(102)具有一束通道孔径(102a)是第二之间安装偏转装置(136)和所述的物镜(13)。 |
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