| 自传感型使用悬臂扫描探针显微镜探针 |
| JP2013147752 2013-7-16 发明授权 |
| 2014-3-26 |
| 要解决的问题 : 该待测物体的微小区域的该测量中，产生一图像扫描探针显微镜; 该图像到一具有一接触探头制造微小区域，用于测量该电流的Pa或更少，一种传感器电路，用于检测所述悬臂的保护电极的一个变形。溶液 : 自感测式使用悬臂，电流被供给以第一探针1和布线，一个传感器电路，用于检测所述变形该悬臂2的布线用于第一，第二1至2第二布线的互连，用于使用作为布线保护和防护电位产生装置，第二线2，和传感器1是作为一个第二周期，并保持第二保护2周期; 时间分由2包括一第一切换装置开关和布线，被设置，此外，在第一周期后，获得的二维分布21，2所述2-维分布在一个第一的位置，用于当一预定周期该探针被移动，以测量该电流或电压的1第二。选择绘制 : 图3 |
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