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产业专利数据

含铝掺杂半导体纳米线的高分辨率原子力显微镜针尖

US13608372 2012-9-10 发明授权

2014-3-25

提供了一种高分辨率AFM针尖，其包括AFM探针，所述探针包括半导体悬臂，所述半导体悬臂具有从所述半导体悬臂的表面向上延伸的半导体棱锥，所述半导体棱锥具有顶点。 AFM针尖还包括在半导体棱锥的暴露顶点上的单个Al掺杂半导体纳米线，其中单个Al掺杂半导体纳米线相对于半导体棱锥的顶点是外延的。