| 微-干涉仪用于N个谐波干扰显微镜 |
| WOIB13058483 2013-9-12 发明申请 |
| 2014-3-20 |
| 用于光学测量装置的介质，包括一光源(1)，它提供了一种基本束(FB)一第一波长，一第一谐波发生器(3)，它产生从所述基波光束(fb)第第一谐波束(hb1)与一第二波长，光学系统(7，9)，其中所述基波光束的光耦合(fb)和第一谐波束(hb1)沿一单一，公共光路，第第二谐波genera-TOR(11)位于所述目标区域(5)后; 和一个检测器(15)，其检测的光从该介质以交互测量一在所述的光的相位变化与所述介质中。所述光学系统包括一个消色差的聚焦系统(7)和一个消色差准直系统(9)之前位于和所述目标区域(5)后，以具有各自的焦点在所述目标区域(5)基本上重合。第一和第二谐波发生器之前被位于所述的消色差后聚焦系统(7)和所述的消色差准直系统(9)，分别。 |
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