| 探针-样本的距离测量方法中，原子力显微镜和原子力显微镜使用方法 |
| KR1020120094881 2012-8-29 发明申请 |
| 2014-3-17 |
| 提供在本发明的一探针-样本用于原子力显微镜的距离测量方法使用衍射现象，及一原子力显微镜的应用方法。该探针-样本用于原子力显微镜的距离测量方法使用衍射现象包括 : 光照射步骤，发射探针和样品之间的光，和距离测量步骤，测量探针和样品之间的距离，通过计算衍射图案探针和样品之间产生所辐射的光。另外，原子力显微镜包括 : 光源，样品和探头之间照射光，检测单元，其检测的衍射图案之间的发出的光从样品与探针; 转换单元，用于将衍射图案成电信号; 和距离计算单元，其计算试样和探头之间的距离从得到的电信号通过转换单元。 [的参考标号](110)探针; (115)激光; (140)锁在放大器; (150)调节装置; (160)计算机; (170，BB)的镜子; (180)激光光源; (190)阶梯式滑轮扫描器; (aa)光探测器，(cc)光电二极管; (dd)标本; (ee)平面扫描仪 版权kipo2014 |
微信公众号