| 所述扫描探针显微镜 |
| JP2012187359 2012-8-28 发明申请 |
| 2014-3-13 |
| 要解决的问题 : 所述激光束照射所述照射所述悬臂的表面上可以容易地调整以提供一个扫描探针显微镜。溶液 : 样品和安装底座32，和一个光源30，和悬臂21; 和位移测量部31，具有可拆卸的悬臂21和悬臂支持部20，该照射表面的所述悬臂21，用于检测通过一光学显微镜观察到的光33和一个扫描探针显微镜中具有1，以及悬臂支撑部分20和一光源30和所述的光学显微镜33和所述位移测量部31; 同时保持所述的相互位置关系，和所述用于测量该样品的位置，所述样品和所述样品用于交换一预备位置和被可移动相对于所述安装底座32，和所述悬臂支撑部分20和一个光源30和所述位移测量部31和被设置在光学显微镜33，当所述预备位置，悬臂21从该悬臂21下方一预定距离内的所述辅助照明表面34被设置，选择图中 : 图2 |
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