| 一种用于一显微镜和光学照明系统使用相同的显微镜 |
| JP2012185435 2012-8-24 发明申请 |
| 2014-3-13 |
| 要解决的问题 : 所述开口的数目是小甚至与一种紧凑的配置，所述对象的高密度平面以形成一种晶格状照明光强度分布可以实现一种用于一显微镜的照明光学系统。溶液 : ，所述的照明光学系统200，设置在所述对象表面207在观察clotheshorse表面被照亮。照明光学系统包括，在其pupile表面203，多个相互的相干源极区域是位于远离每个其他，所述各自的中心之间的距离和所述所述的照明光学系统的光瞳的中心所述多个光源的区域，和至少一个其它从所述距离的距离是不同的1。所述的照明光学系统是所述对象的所述侧表面上形成比第一的晶格状的光瞳平面的所述所述的光强度分布的照明装置1仅一半到第二照明光强度的所述光栅的周期分布是形成2，1和2的一个第一对象到第二的照明光强度分布所述照明光强度分布是形成3具有一个结构206。选择绘制 : 图7 |
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