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数字共焦光学轮廓显微镜

US14018604 2013-9-5 发明申请

2014-3-13

本文描述了显微镜系统、装置和相关分析方法的各种实施例。在一个实施例中，操作显微镜的方法包括利用光电检测器从样品获取光信号的轮廓，而不使光信号通过物理针孔。该方法还包括通常基于所获取的光信号的整个剖面来确定样本的参数。