| 用于扫描探针显微镜的小型化悬臂探针及其制造方法 |
| US13601906 2012-8-31 发明申请 |
| 2014-3-6 |
| 悬臂探针由多层结构形成，该多层结构包括上基板、下基板、内层、第一分离层和第二分离层，其中第一分离层位于上基板和内层之间，第二分离层位于下基板和内层之间，并且其中第一和第二分离层相对于第一和第二基板、内层是可差分蚀刻的。 上基板是从其形成探针尖端的第一器件层。 所述内层是第二器件层，悬臂从所述第二器件层形成。 下基板是从其形成手柄或基部的手柄层。 通过分离层将任何层的图案化和蚀刻处理与其它层隔离。 |
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