| 一种用于扫描探针显微镜探针的光热激励 |
| WOGB13052033 2013-7-30 发明申请 |
| 2014-3-6 |
| 驱动一探针的各种方法的一个扫描探针显微镜是本发明公开了。一个方法分配所述能量的设定所述的辐射束在一个宽的区域中的任一个扫描探针通过所述光束或增加其照明面积。另一方法改变所述辐射束的强度轮廓与一衍射光学元件，使一更均匀所述的照明强度分布在所述的宽度。另一方法使用一衍射光学元件以改变所述圆周形状所述辐射的光束，和因此该区域的形状照射在所述的探针，在顺序以匹配所述所述探针的形状和因此分配所述能量在一个较宽的区域。 |
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