| 电子显微镜和电子显微镜图像获取方法。 |
| WOJP13068590 2013-7-8 发明申请 |
| 2014-3-6 |
| 本发明的一个目的是以调整，高度有效和具有高精度，最佳采集条件的一个电子显微镜获取时，使用一个扫描传输电子显微镜图像，高电子显微镜的图像对比度的图像一个样品，其被配置成与光元件。一种扫描传输电子显微镜(1)，其获取电子显微镜图像包括 : 多个透镜的(4，7，9)，一种虹膜(6)，其限制电子束，一个检测器(10); 采集条件计算系统(13)，计算该电子显微镜图像采集的条件，和一个样品膜厚度条件计算系统(14)计算一个样品膜厚度在所述电子束传输方向。 |
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