产业集群信息网

产业专利数据

照明光学系统和显微镜

WOJP13073857 2013-8-29 发明申请

2014-3-6

所述的照明光学系统被配置成与光照射一样品放置在一个对象平面，所述的照明光学系统包括多个光源极区域相互的相干和设置分别从一个光瞳平面中的另一个所述的照明光学系统。之间的距离从所述的照明光学系统的光瞳的中心到中心所述多个光源的区域，至少一个的所述距离是从所述其它不同的距离。