| 用于校准3D扫描数据的方法原子力显微镜 |
| KR1020120121194 2012-10-30 发明授权 |
| 2014-2-28 |
| [docdb]本发明涉及一种用于校准装置和校准方法的3D扫描原子力的配置显微镜，其更具体地包含，一)获取通过扫描标准件第一配置数据用于使用第一具有微型图案的校准原子力显微镜作为标定物，第第一校准步骤来校准高度和方向的扫描配置的基于原子力显微镜第一配置；以获取步骤第二配置数据通过扫描标准件第二具有特定曲率校准使用原子力显微镜第一中的校准的校准步骤；和第二校准步骤来校准扫描配置在平面方向的原子力显微镜通过比较特定曲率和第二的配置数据。 |
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