| 扫描透射电子显微镜用于扩展区域成像 |
| US14071614 2013-11-4 发明申请 |
| 2014-2-27 |
| 一种用于对样品成像的扫描透射电子显微镜，包括产生电子束的电子束源。 提供束光学器件以会聚电子束。 提供一个载物台，用于将样品保持在电子束的路径中。 电子束扫描仪扫描通过样品的电子束。 控制器可以限定与试样的位置相对应的一个或多个扫描区域，并且控制一个或多个射束扫描器和载物台以选择性地扫描扫描区域中的电子束。 提供检测器以检测透射通过样品的电子以产生图像。 控制器可以为每个扫描区域生成子图像，并且将扫描区域的子图像拼接在一起以生成拼接在一起的图像。 控制器还可以分析拼接在一起的图像以确定关于样本的信息。 |
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