| 扫描探针显微镜 |
| US13974634 2013-8-23 发明申请 |
| 2014-2-27 |
| 一种扫描探针显微镜，包括 : 扫描探针显微镜单元部分，包括 : 具有探针的悬臂；配置成固定所述悬臂的悬臂保持器；配置成放置样品的样品保持器；配置成用所述探针相对地扫描所述样品的表面的水平精细传送机构；配置成控制所述探针和所述样品表面之间的距离的垂直精细传送机构；配置成观察所述悬臂和所述样品的光学显微镜； 控制装置； 成像装置，其可设置比光学显微镜的视场宽且能够同时观察悬臂和样品的视场； 以及图像显示装置，被配置为显示由光学显微镜和成像装置观察到的图像。 |
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