所述传输式共焦显微镜
 
JP2013083518  2013-4-12  发明授权

2014-2-26
 
  要解决的问题 : 提供一种高速传输式共焦显微镜。溶液 : 所述光源,光从所述通过扫描光源与被检查的一个旋转多边形反射镜,所述光反射从所述对象到所述旋转polygonmirrorisincident所述光接收元件上通过一个扫描单元设置在所述前和后侧的所述对象,所述的光从第一扫描单元,其中扫描该物体,所述的光接收元件的另一对象一个扫描单元,以输入,2所述的用于驱动一同步电机的旋转多边形mirrordriving电路所述分别连接到一个控制电路,一控制电路2所述旋转多边形mirroris在所述的同步旋转在synchronizationwith所述检查objecta传输类型,将选择的绘制 : 图1
 
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