| 共焦显微镜 |
| JP2012176616 2012-8-9 发明申请 |
| 2014-2-24 |
| 要解决的问题 : 灵活地或测量速度的测量精度可以被改变以提供一个共焦显微镜。溶液 : 和一光源101，光从该光源101到一个先前选择的目标通过的仅一部分所述区域Wdmd103和反射该光路径，和以控制所述DMDdmd103控制部104，该光dmd103和所述的光学路径上反射的反射通过该待测物体和W是所述返回光穿过物镜108和，W和所述待测量对象的物镜108由改变所述的相对距离，W的光照射到被测量以确定所述位置和三轴驱动装置112; 所述确定的照射位置W每个基于从所述待测量对象的返回光在一个光学检测器110和，所述图像的基础上，多个所述的三个三维形状数据的对象W以产生和运算部111，被提供，所述DMD控制部104，以控制所述dmd103，依次改变所述的部分区域，将选择的绘制 : 图1 |
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