| 扫描传输电子显微镜 |
| JP2012172476 2012-8-3 发明申请 |
| 2014-2-20 |
| 要解决的问题 : 电子束是，在该情况下的扫描一样品，样品厚度或，构成元件，所述电子束被通过所述加速的加速电压，电子散射角度被改变，因此，改变条件或观测的所述样品必须被调整，该暗的场扫描图像中的样品和散射检测器能够检测散射的电子。本发明，和所述溶液的所要解决的问题。溶液 : 和一电子枪，电子发射的光束从电子枪和透镜用于照射该样品，所述样品电子检测器，用于扫描透射电子显微镜，所述样品和样品之间设置低于所述辅助透镜是提供所述透镜，在一样品，其被所述的电子被散射的入射在一个检测器和以调整一扫描传输电子显微镜，将选择的绘制 : 图。1 |
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