| 所述所述的电子的能量束照射一样品与一种扫描电子显微镜。 |
| JP2012181906 2012-8-3 发明申请 |
| 2014-2-20 |
| 要解决的问题 : 分散体和所述电子束能量以形成一小的球面像差校正装置，以提供一扫描电子显微。溶液 : 一个电子从电子枪8发射的光束，其中，通过该孔用于控制所述电流值3是由入射在所述棱镜像差校正装置4，所引起的几何像差由所述棱镜5被去除，此后，该电子束穿过该棱镜5分散eve，进一步分散由所述的色散角度放大器6放大后，聚光透镜9，控制所述光束直径孔10，球面像差校正装置11; 并且，通过所述物镜透镜1聚焦在所观察的样品2。选择绘制 : 图10 |
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