| 所述扫描探针显微镜 |
| JP2012164210 2012-7-24 发明申请 |
| 2014-2-6 |
| 要解决的问题 : 通过使用光杆的运动所述探针在一个扫描型探针显微镜是检测，以实现一种高灵敏度和宽的工作范围内。溶液 : 所述的下探头10a是提供具有一悬臂10c和所述的上表面上提供所述反射器10b，产生一光束36到反射反射镜和入射光束的投影机30，是由所述反射镜反射的10B入射和反射光束37，至少第一1和第二22所述检测表面上所检测的表面划分成一种分离型光检测器35和，一个检测第一1和第二的表面2的差值检测光强度，作为所述移动量的所述反射光束37和算术电路58，被提供，所述反射光束37，分割型光检测器35用于检测表面35a与所述环具有一个照射图案形状92。选择绘制 : 图3 |
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